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A.真空室內總放氣量的計算;

B.確定真空室的有效抽速;

C.粗配主泵和粗配前級真空泵;

D.根據要求選擇閥門、捕集器、除塵器等真空元件;

E.繪制真空系統裝配草圖，確定各部分的尺寸;

F.精確(復核)計算各真空泵的參數，如果粗選的真空泵達不到要求，就需要重新選泵和配泵，直到滿足各參數要求為止;

G.繪制真空系統裝配圖;

H.繪制零件圖，繪制施工圖。

這八條設計計算步驟是非標準設計不可缺少的。隨著真空設備的不斷發展，隨著各種新型的真空機組的不斷出現，真空系統設計過程會不斷簡化.現在已有定型真空機組，若可以直接選擇定型真空機組來獲得所需真空系統，便可省去麻煩的真空系統設計。